产品 >> 小金属及材料 >> 碳化硅系列
硅片
- 型号:pmp14
硅片
Si 用途:用作半导体材料,大功率晶体管,整流器,太阳能电池等。
Si 用途:用作半导体材料,大功率晶体管,整流器,太阳能电池等。
主要性能参数
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晶体结构
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面心立方
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熔点(℃)
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1420
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密度
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2.4(g/cm3)
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导电类型/掺杂物质
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I型非掺
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P掺B
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N掺P
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电 阻 率
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>1000Ωcm
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10-3~104Ωcm
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10-3~104Ωcm
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E P D
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≤100∕cm2
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≤100∕cm2
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≤100∕cm2
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氧含量(∕cm3)
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≤1~1.8×1018
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≤1~1.8×1018
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≤1~1.8×1018
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碳含量(∕cm3)
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≤5×1016
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≤5×1016
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≤5×1016
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尺寸
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10×10mm、15×15mm、Dia50.8mm、Dia76.2mm、Dia100mm
可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的基片
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厚度
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0.3-0.5mm、1.0mm
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尺寸公差
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<±0.1mm
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厚度公差
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<±0.015mm特殊要求可达到<±0.005mm)
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抛光
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单面或双面
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晶面定向精度
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±0.5°
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边缘定向精度
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2°(特殊要求可达到1°以内)
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取向
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<100>、<110>、<111>等
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包装
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100级洁净袋,1000级超净室
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